11月22日下午，應恒达平台和科研處的邀請🚣🏻♂️，上海應用技術大學李以貴教授來校交流，作了題為“微光機電系統（MEMS）關鍵技術研究”的學術報告，並指導國家自然科學基金申報👮🏿♀️。恒达平台院長方誌軍🤸🏿🥓、副院長李媛媛、史誌才、劉瑾，相關專業教師及研究生參加🐒💹，會議由李媛媛副院長主持🦅🐶。
李教授從去加工（腐蝕）、附著加工（鍍膜）、改質加工（摻雜）和結合加工（鍵合）四方面闡述了MEMS製造技術的基本工藝🧖🏿♂️，分別介紹了其團隊在聚合物微機電系統（PolymerMEMS）微傳感器、微驅動器、微能源采集技術（MicroPowerGenerator）和光微機電系統（OpticalMEMS）四部分的主要研究工作。詳細講解了矽壓阻傳感器與聲表面波驅動器、振動采能器、微光諧振器🤥、納米光柵、微幹涉儀🧑🏻🦯➡️🔒、微光開關等關鍵技術。
報告結束後🙋🏻♂️，李教授與在座師生展開交流🧑🏻🦼，並評閱了相關專業教師的國家自然科學基金申報書。李教授的精彩報告和細心輔導使師生們受益匪淺🍜！
據介紹，李以貴，男，日本東北大學工學博士，教授👨🏼🏭，博士生導師🌊。主要從事微光機電系統（MEMS），微傳感器與微執行器研究與教學。先後共主持國家，省部級項目16項，如國家自然科學基金面上項目2項，上海浦江人才計劃項目1項，航空基金2項👿，回國人員基金1項。已在國內外學術刊物上發表100余篇研究論文,其中SCI論文30余篇,EI論文70余篇。申請國家發明專利52項，其中已授權31項。1981年9月-1985年7月，哈爾濱工業大學精密儀器系🧒🏽，獲學士學位。1988年8月-1991年3月，哈爾濱工業大學精密儀器系測試技術與儀器專業，獲碩士學位。1997年10月-2001年3月，日本東北大學(Tohoku University)機械電子專業，獲博士學位。2001年3月-2006年7月，任上海交通大學微納科學技術研究院副教授🖐🏿，碩士生導師（其中2003年7月—2007年4月🫲🏻，任日本立命館大學綜合理工學機構副教授）👲🏽。2006年3月-2013年7月，上海交通大學微納科學技術研究院教授，博士生導師👈🏻。2013年7月-至今，任上海應用技術大學理恒达教授，博士生導師🚓。目前擔任教育部學位與研究生教育評審專家；科技部科技評估中心評審專家；國家自然科學基金評審人；中國微米納米協會高級會員🙆🏼；《光學學報》，《Chinese Physics Letter》🙋🏼♀️，《中國激光》，《光學精密工程》，《傳感器技術》等雜誌審稿人。
韋鈺
